专利详情

专利名称	一种二维长程面形检测装置及检测方法
申请号	CN201710198456.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106840030A	公开（授权）日	2017.06.13
申请（专利权）人	中国科学院上海应用物理研究所	发明（设计）人	罗红心;张翼飞;樊亦辰;金利民;李中亮;王劼
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I
专利有效期	一种二维长程面形检测装置及检测方法至一种二维长程面形检测装置及检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种二维长程面形检测装置，包括单色光光源、二维阵列结构π位相板、分光棱镜、导轨、装设于导轨上的五角棱镜、透镜、直角棱镜模块以及面阵探测器；所述单色光光源设置为出射一光束，该光束穿过所述二维阵列结构π位相板入射到所述分光棱镜，经所述分光棱镜分光后入射到所述五角棱镜，经所述五角棱镜折射后入射到所述待测镜面，而后经所述待测镜面反射回所述五角棱镜，再次经所述五角棱镜折射后依次穿过所述分光棱镜、所述透镜和所述直角棱镜模块到达所述面阵探测器，并在所述面阵探测器上形成测量光斑。本发明通过导轨运动扫描得到光学元件表面的二维信息，实现大尺度光学元件表面质量检测和高精度压弯机构检测。