专利详情

专利名称	一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具及其制备方法
申请号	CN201611173709.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106835064A	公开（授权）日	2017.06.13
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	唐永炳;王陶;张文军;李振声
主分类号	C23C16/02(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/02(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I
专利有效期	一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具及其制备方法至一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种具有金刚石/碳化硅复合涂层的工具，包括工具基体，以及设置在所述基体上的多层涂层结构，所述多层涂层结构包括碳化硅/金刚石复合涂层，以及金刚石涂层，自基体表面向上，所述碳化硅/金刚石复合涂层和金刚石涂层依次交替排布形成多层结构，且所述多层涂层结构的顶层为金刚石涂层。本发明提供的多层涂层结构中的每一层中均含有金刚石相的连续生长，增强了各层之间的界面结合强度，能够有效降低涂层的内应力，增强薄膜与基体的粘附性，尤其是有利于抵抗工具在切削加工中产生的高强切应力，还可增强在整个涂层厚度方向的整体断裂韧性。本发明还提供了该具有金刚石涂层的工具的制备方法。