一种用于制备金刚石的基台组件
- 申请号：CN201510870990.9
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：深圳先进技术研究院
- 公开(公开)号：CN106811737A
- 公开(公开)日：2017.06.09
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种用于制备金刚石的基台组件 | ||
| 申请号 | CN201510870990.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN106811737A | 公开（授权）日 | 2017.06.09 |
| 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 唐永炳;朱雨;牛卉卉 |
| 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种用于制备金刚石的基台组件 至一种用于制备金刚石的基台组件 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明适用于金刚石合成技术领域，提供了一种用于制备金刚石的基台组件，包括水冷台和设置在所述水冷台上的基片托，所述水冷台和所述基片托紧密连接，其中，所述基片托近外边缘处的上下表面开设环形槽，分别形成上热桥和下热桥，所述水冷台和所述基片托之间设置有导热垫圈，所述导热垫圈设置在所述基片托下表面、以所述下热桥为界的外圈部分。 | ||
交易流程
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