专利详情

专利名称	含类金刚石复合涂层及其制备方法
申请号	CN201611093220.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106756820A	公开（授权）日	2017.05.31
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	唐永炳;朱海莉;蒋春磊;申京受
主分类号	C23C14/32(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/32(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I
专利有效期	含类金刚石复合涂层及其制备方法至含类金刚石复合涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种含类金刚石复合涂层及其制备方法和含有含类金刚石复合涂层的耐磨器件。本发明含类金刚石复合涂层包括结合在基底表面的过渡金属层，由所述基底向所述过渡金属层延伸方法，还包括依次结合在所述过渡金属层表面的过渡金属硼化物层、类金刚石层，且所述过渡金属硼化物层与类金刚石层至少为1次的交替层叠结合，并在最外层为所述过渡金属硼化物层。含类金刚石复合涂层能够实现充分缓解类金刚石层本身的内应力，提高了含类金刚石复合涂层整体韧性以及耐磨耐腐蚀性能。该制备方法避免了繁琐的制备工艺，不仅保证了沉积的含类金刚石复合涂层性能的稳定性，而且有效降低了其制备成本。