专利详情

专利名称	一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器
申请号	CN201611160348.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106793441A	公开（授权）日	2017.05.31
申请（专利权）人	中国科学院力学研究所	发明（设计）人	贺建武;康琦;段俐;胡良;马隆飞;薛森文
主分类号	H05H1/46(2006.01)I	IPC主分类号	H05H1/46(2006.01)I;F03H1/00(2006.01)I
专利有效期	一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器至一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器，包括：电离室、射频天线、进气系统、屏蔽罩、离子光学系统、电缆夹头；所述电离室为半椭球形,电离室入口连接进气系统，出口连接所述离子光学系统；所述屏蔽罩位于电离室外面；射频天线通上射频电流，用于在所述电离室内产生涡流电场，所述电缆夹头固定在所述屏蔽罩上。本发明具有下列技术效果：1、电离室设计成半椭球形，有效降低离子生成能；2、射频天线绕制在半椭球形电离室外侧，采用LC谐振及调频技术实现阻抗匹配；3、设计前置气体分配器，相较于后置气体分配器，可有效提高气体电离效率及等离子体均匀度。