专利详情

专利名称	一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法
申请号	CN201611169812.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106768886A	公开（授权）日	2017.05.31
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	卢增雄;齐月静;苏佳妮;齐威;王宇;周翊
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I
专利有效期	一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法至一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种深紫外光学系统波像差检测装置和方法，所述装置包括准分子激光器(1)、能量控制器(2)、平凹柱面镜(3)、平凸柱面镜(4)、分束镜(5)、能量探测器(6)、第一平面反射镜(7)、衍射光学元件(8)、傅里叶透镜(9)、第一准直物镜(10)、第一1/4波片(11)、第一1/2波片(12)、第二平面反射镜(13)、第一聚焦物镜(14)、小孔板(15)、第二准直物镜(16)、第二1/2波片(17)、偏振分光棱镜(18)、第二1/4波片(19)、第二聚焦物镜(20)、待测深紫外光学系统(21)、球面反射镜(22)、第一中继镜(23)、第二中继镜(24)和夏克哈特曼波前传感器(25)。本发明的装置和方法实现了深紫外光学系统集成装调过程中系统波像差的快速高精度检测。