专利详情

专利名称	压阻式恒温控制振荡器及其制备方法
申请号	CN201510830774.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106788316A	公开（授权）日	2017.05.31
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	杨恒;游卫龙;张磊;王小飞;李昕欣
主分类号	H03H9/08(2006.01)I	IPC主分类号	H03H9/08(2006.01)I;H03H9/19(2006.01)I;H03H3/02(2006.01)I;H03H3/04(2006.01)I
专利有效期	压阻式恒温控制振荡器及其制备方法至压阻式恒温控制振荡器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种压阻式恒温控制振荡器及其制备方法，包括：谐振结构、加热梁、多晶硅高阻层、第一绝缘层及加热电阻；谐振结构包括纵向振动梁及第一电极；纵向振动梁的数量为两根，两根纵向振动梁平行间隔排布；第一电极位于两根纵向振动梁的两端，并将两根纵向振动梁相连接；纵向振动梁及第一电极均沿单晶硅<100>晶向族方向分布；加热梁贯穿两根纵向振动梁；多晶硅高阻层位于两根纵向振动梁之间，且将加热梁隔断为两部分；第一绝缘层及加热电阻由下至上依次覆盖于加热梁的上表面。在两根纵向振动梁之间制作多晶硅高阻层，可实现对振荡器进行压阻检测；多晶硅高阻层将位于其两侧的加热梁连接成双端固支梁，可显著减小加热梁变形对谐振结构的影响。