专利详情

专利名称	基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法
申请号	CN201710040989.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106772752A	公开（授权）日	2017.05.31
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	郭智慧;龙亮;杨恒;钟少龙
主分类号	G02B5/28(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/28(2006.01)I;G02F1/025(2006.01)I
专利有效期	基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法至基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种基于MEMS波长可调谐FP光纤滤波器及其制备方法，包括：1）提供半导体基底，在半导体基底的第一表面形成第一凹槽及第二凹槽；2）提供键合基底，在键合基底的第一表面形成第三凹槽；3）将半导体基底与键合基底键合；4）在键合基底内形成光纤安装孔；5）在半导体基底的第二表面形成光学增透膜；6）刻蚀半导体基底，以形成贯穿半导体基底的通孔；7）在通孔底部的键合基底的第一表面形成第一电极，在半导体基底的第二表面形成第二电极；8）释放可动质量块结构；9）在中心质量块的下表面形成光学高反膜。通过预设光纤安装孔，在降低驱动电压的同时，极大地增加在静电驱动模式下FP光纤滤波器腔长变化与电源选择之间的灵活性。