大光栅的制造装置和制造方法
- 申请号：CN201710019314.X
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN106772736A
- 公开(公开)日：2017.05.31
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 大光栅的制造装置和制造方法 | ||
| 申请号 | CN201710019314.X | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN106772736A | 公开（授权）日 | 2017.05.31 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 周常河;向显嵩;韦春龙;李民康 |
| 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I |
| 专利有效期 | 大光栅的制造装置和制造方法 至大光栅的制造装置和制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种大光栅的制造装置和制造方法，该装置包括光源移动模块、基片移动模块和监测控制模块三部分。相比于以往的扫描光束法制造光栅的装置，该装置将光栅基片的二维扫描运动拆分，使用一维精密平移台分别驱动光源和光栅基片，免除了配备二维精密平移台的需求，大大节约了系统成本。该装置构造简单，易于拓展的所制大光栅的面积。结合3轴激光干涉仪定位及闭环调节控制方法，该装置能有效制作出具有高条纹精度和平行度的大光栅。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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