专利详情

专利名称	一种衍射光栅
申请号	CN201611184566.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106772732A	公开（授权）日	2017.05.31
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	史丽娜;牛洁斌;李海亮;刘子维;浦探超;谢常青;刘明
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I
专利有效期	一种衍射光栅至一种衍射光栅	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种衍射光栅，所述衍射光栅包括：不透光薄膜及开设在所述不透光薄膜上的N个透光圆孔；N为大于100的正整数；其中，所述N个透光圆孔以预设的几率密度、呈准斜方格子分布在所述不透光薄膜上；且所述透光圆孔的大小与所述准斜方格子的周期之间具有预设的比例；如此，透光薄膜1上分布N个透光圆孔，且透光孔以一定的几率密度呈准斜方格子分布，因此能够完全抑制2，3，4级衍射，提高分辨率，进而确保分析结果的准确性，提高了摄谱精度；并且，该光栅能够实现自支撑，因此可以消除衬底带来的损耗；另外，由于该光栅结构由圆孔组成，且相邻圆孔之间的距离较大，所以易于加工。