专利详情

专利名称	一种金刚石/类金刚石多层复合涂层及其制备方法
申请号	CN201510824541.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106756880A	公开（授权）日	2017.05.31
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	唐永炳;蒋春磊;张静
主分类号	C23C16/44(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/44(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I
专利有效期	一种金刚石/类金刚石多层复合涂层及其制备方法至一种金刚石/类金刚石多层复合涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明适用于真空镀膜技术领域，提供了一种金刚石/类金刚石多层复合涂层的制备方法，包括以下步骤：提供一基底，对所述基底进行表面预处理后装炉；真空条件下，通入甲烷并进行第一涂层过程，在所述基底表面沉积金刚石涂层；真空条件下，调整加热温度和甲烷浓度进行第二涂层过程，在所述金刚石涂层表面沉积类金刚石涂层；重复所述第一涂层过程和所述第二涂层过程，制备金刚石层和类金刚石交替沉积的多层复合结构，且得到的金刚石/类金刚石多层复合涂层的最外层为类金刚石涂层。