专利详情

专利名称	一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法
申请号	CN201710102163.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106705886A	公开（授权）日	2017.05.24
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	卢增雄;齐月静;齐威;杨光华;苏佳妮;周翊;王宇
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I
专利有效期	一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法至一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出一种减小球面镜面形误差测量中机械移相误差的方法，该方法所利用的测量系统包括：干涉仪、球面标准镜、标准球面波、待测球面镜和五维调整台，该方法根据待测球面镜的NA大小以及移相误差的控制要求将待测球面镜分成多个环形子孔径，不同环形子孔径采用不同的移相步长，再通过子孔径拼接的方式可实现整个球面镜面形误差的测量。本发明通过改变移相步长的新方法，低成本地实现了高数值孔径球面镜面形误差的高精度测量。