专利详情

专利名称	一种双探针原子力显微镜快速逼近装置及方法
申请号	CN201611152409.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106645803A	公开（授权）日	2017.05.10
申请（专利权）人	国家纳米科学中心;广州市本原纳米仪器有限公司	发明（设计）人	李鹏;裘晓辉;吴浚瀚;王帅
主分类号	G01Q10/04(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q10/04(2010.01)I;G01Q60/24(2010.01)I
专利有效期	一种双探针原子力显微镜快速逼近装置及方法至一种双探针原子力显微镜快速逼近装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及微纳米区域物性测量及操控技术领域，尤其涉及一种基于激光检测式的双探针原子力显微镜快速逼近装置及方法。该双探针原子力显微镜快速逼近方法为：主探针沿水平的X轴、Y轴方向调节，从探针沿垂直的Z轴方向调节；调整主探针和从探针的激光器，从探针的激光器发射的光线经过反光镜反射，光线的光斑垂直射在从探针悬臂梁上。本发明提供的一种双探针原子力显微镜快速逼近方法，该方法将需要Z轴向调节的从探针的入射光通过反光镜调整为垂直方向射入，因此，在调节时不会出现偏离悬臂梁的现象，进而对于激光器仅需一次调节即可，逼近方法得到极大的简化，之后，再通过对主探针和从探针进行微调，直至两者均与样品接触，即完成逼近操作。