专利详情

专利名称	一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法
申请号	CN201710127242.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106643559A	公开（授权）日	2017.05.10
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	周毅;唐燕;陈楚仪;邓钦元;谢仲业;田鹏;李凡星;胡松;赵立新
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法至一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种基于混合干涉条纹的白光显微干涉形貌重建方法，利用Mirau型白光干涉光学系统，通过压电陶瓷移动台精密控制干涉物镜纵向扫描移动，将采集得到的一系列白光显微干涉图进行保存。首先，将所采集到的干涉灰度图转换为光强图，通过频域滤波以及基频信号提取算法，获得单帧干涉图像对应的归一化调制度图，针对每个独立纵向扫描位置，利用同一像素点光强值与对应调制度数值的乘积获取一帧混合干涉图像。最后通过纵向扫描获取得到一系列混合干涉图像，通过寻找混合干涉极值及其相应扫描位移来获取被测物体每个像素点的高度信息，从而实现物体三维形貌重建。本方法具有测量精度高，抗干扰能力强，系统简单等特点，适用于微纳结构三维形貌检测。