专利详情

专利名称	倾斜式硅针尖及其制作方法
申请号	CN201510696116.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106610439A	公开（授权）日	2017.05.03
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	李加东;苗斌;吴东岷
主分类号	G01Q70/16(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q70/16(2010.01)I
专利有效期	倾斜式硅针尖及其制作方法至倾斜式硅针尖及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种倾斜式硅针尖及其制作方法。所述针尖为三棱锥体，并具有第一倾斜面、第二倾斜面、第三倾斜面和底面，且所述第一倾斜面、第二倾斜面和第三倾斜面中至少两者与底面的夹角不相等。所述制作方法包括：在硅片上采用各向同性的刻蚀工艺加工形成所述倾斜式硅针尖的第一、第二倾斜面，之后在第一、第二倾斜面上设置保护层，再采用刻蚀工艺在所述硅片上加工形成第三倾斜面，获得目标产物。本发明提供了一种不同于传统硅针尖的倾斜式硅针尖，其能满足近场光学对实时观测的需求，且其制作方法简单，原料廉价易得，适于进行大规模生产，为硅针尖的推广和应用提供了一种新的路径。