
一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置
- 申请号:CN201611143636.7
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院电工研究所
- 公开(公开)号:CN106597520A
- 公开(公开)日:2017.04.26
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置 | ||
申请号 | CN201611143636.7 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN106597520A | 公开(授权)日 | 2017.04.26 |
申请(专利权)人 | 中国科学院电工研究所 | 发明(设计)人 | 章程;侯兴民;邵涛;邱锦涛 |
主分类号 | G01T1/36(2006.01)I | IPC主分类号 | G01T1/36(2006.01)I |
专利有效期 | 一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置 至一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明涉及一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置,包括:纳秒脉冲电源、放电腔、逃逸电子束流收集器和示波器,且依次连接。其中,所述逃逸电子束流收集器包括三个或多个相同的同轴收集器,每个同轴收集器分别设有信号输出端,并分别通过同轴电缆连接所述示波器,纳秒脉冲电源的输出端经分压器后也与示波器相连。本发明可以对不同区域的放电产生的逃逸电子进行测量,进而分析逃逸电子在空间中的时域分布和能谱分布。该发明可广泛应用于纳秒脉冲放电的理论分析和应用研究。 |
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