专利详情

专利名称	三轴微机械磁场传感器
申请号	CN201611020374.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106556804A	公开（授权）日	2017.04.05
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	熊斌;刘松;徐德辉;梁亨茂
主分类号	G01R33/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01R33/02(2006.01)I
专利有效期	三轴微机械磁场传感器至三轴微机械磁场传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种三轴微机械磁场传感器，包括两个呈正交排列的第一谐振结构组件及第二谐振结构组件。本发明的三轴微机械磁场传感器不需要磁性材料，不存在磁滞和磁饱和现象，制作工艺与标准CMOS工艺兼容，可实现大批量，低成本生产；第一谐振结构及第二谐振结构采用静电驱动，功耗几乎为零，且结构简单，易于实现；静电驱动结构为带有阻尼孔的平板电极或者叉指电极，能够有效的减小空气阻尼，提高大气下工作的灵敏度；基于电磁感应原理，在大范围磁场测量中都具有极佳的线性度；三个谐振结构位于同一平面内，可实现三轴测量之间的绝对正交，有效避免了交叉灵敏度的影响；可同时对恒定或交变磁场的三轴分量进行测量，稳定性和可靠性好。