专利详情

专利名称	抑制偏振敏感度的超导纳米线单光子探测器
申请号	CN201510593942.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106549097A	公开（授权）日	2017.03.29
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李浩;尤立星;王镇
主分类号	H01L39/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01L39/00(2006.01)I;H01L39/02(2006.01)I
专利有效期	抑制偏振敏感度的超导纳米线单光子探测器至抑制偏振敏感度的超导纳米线单光子探测器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种抑制偏振敏感度的超导纳米线单光子探测器，包括：衬底；高反膜，位于所述衬底表面；超导纳米线，位于所述高反膜表面；介质层，位于所述高反膜表面，且包覆所述超导纳米线。本发明的抑制偏振敏感度的超导纳米线单光子探测器在高反膜上加工制备超导纳米线，该器件结构可以通过正面光耦合将光直接照射到超导纳米线上，可以避免光学腔体结构中远距离聚焦的问题，进而避免了衬底Fabry-Perot腔对吸收效率的影响，且对目标波长具有较高的吸收效率，有效提高了器件探测效率；同时，本发明的抑制偏振敏感度的超导纳米线单光子探测器通过在高反膜表面生长包覆超导纳米线的高折射率介质层，可以降低器件的偏振相关性。