专利详情

专利名称	基体表面的富碳碳化铬纳米复合超硬自润滑涂层及其制备方法
申请号	CN201510519541.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106467958A	公开（授权）日	2017.03.01
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	姜欣;王永欣;李金龙;鲁侠;陈建敏;薛群基
主分类号	C23C14/32(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	基体表面的富碳碳化铬纳米复合超硬自润滑涂层及其制备方法至基体表面的富碳碳化铬纳米复合超硬自润滑涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种基体表面的富碳碳化铬纳米复合超硬自润滑涂层及其制备方法。该复合涂层由硬质相多晶CrC与润滑相纳米晶碳nc-C组成，并且以多晶CrC为基质，nc-C镶嵌在该多晶CrC基质中，形成“内晶型”的nc-C/CrC复合涂层，该涂层硬度高达40GPa以上，磨损率达10^-16m³/N·m量级。本发明采用多弧离子镀技术，以金属Cr为靶材，高纯Ar为工作气体，C₂H₂为反应气体制备该nc-C/CrC复合涂层，通过控制基体负偏压调控涂层中CrC与碳的结晶状态和纳米团聚特征，在切削加工刀具以及其它机械运动零部件等领域具有良好的应用价值。