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高速激光线扫描的表面缺陷检测装置

  • 申请号:CN201610943020.1
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所;合肥知常光电科技有限公司
  • 公开(公开)号:CN106442565A
  • 公开(公开)日:2017.02.22
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 高速激光线扫描的表面缺陷检测装置
申请号 CN201610943020.1 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN106442565A 公开(授权)日 2017.02.22
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所;合肥知常光电科技有限公司 发明(设计)人 邵建达;刘世杰;董敬涛;吴周令;陈坚;周游;王微微
主分类号 G01N21/95(2006.01)I IPC主分类号 G01N21/95(2006.01)I
专利有效期 高速激光线扫描的表面缺陷检测装置 至高速激光线扫描的表面缺陷检测装置 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种高速激光线扫描的表面缺陷检测装置,该装置主要包括激光器、激光扩束系统、第一高反镜、起偏器、第二高反镜、波片、第三高反镜、旋转棱镜、行触发探测器、远心场镜、激光聚焦点阵线、被测样品、散射光收集器、线阵散射光探测器和柱面透镜。该装置具有较高的灵敏度和信噪比,解决了大口径、大重量样品的表面缺陷测量需求。

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