专利详情

专利名称	高精度波长形加速度传感器及其制备方法
申请号	CN201610513007.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106443065A	公开（授权）日	2017.02.22
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	龙亮;钟少龙;郭智慧
主分类号	G01P15/03(2006.01)I	IPC主分类号	G01P15/03(2006.01)I
专利有效期	高精度波长形加速度传感器及其制备方法至高精度波长形加速度传感器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种高精度波长形加速度传感器及其制备方法，包括：1）提供第一半导体基底，在第一半导体基底的表面形成第一凹槽；2）提供第二半导体基底，在第二半导体基底的表面形成闪耀光栅结构；3）将第一半导体基底与第二半导体基底键合以形成键合基底；4）提供第一盖板，将第一盖板与键合基底键合；5）依据第一凹槽及闪耀光栅结构对键合基底进行刻蚀，以形成弹性扭转梁及惯性质量块；6）提供第二盖板，在第二盖板表面形成第二凹槽；7）将第二盖板与步骤5）得到的结构进行键合。本发明将加速度敏感单元与检测单元集成批量化制造，具有体积小、结构简单、成本低、封装简单等特点。