专利详情

专利名称	一种镀膜设备及其镀膜方法
申请号	CN201611089968.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106435532A	公开（授权）日	2017.02.22
申请（专利权）人	佛山市中国科学院上海硅酸盐研究所陶瓷研发中心	发明（设计）人	蔡晓峰;席红安
主分类号	C23C18/02(2006.01)I	IPC主分类号	C23C18/02(2006.01)I
专利有效期	一种镀膜设备及其镀膜方法至一种镀膜设备及其镀膜方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种镀膜设备，包括加热装置、制备装置、冷却装置、外壳、机架和输送机构；外壳的内部依次设有加热装置、制备装置和冷却装置；机架设置于外壳的底部；输送机构包括第一输送机构、第二输送机构和第三输送机构，第一输送机构设于加热装置的内部，第二输送机构设于制备装置的内部，第三输送机构设于冷却装置的内部；第一输送机构、第二输送机构和第三输送机构依次相连，同步传动。本发明通过采用精细雾化喷嘴，并且喷嘴可任意分布，解决了现有技术中大面积镀膜不均匀、镀液利用率低等问题，设备整体通过输送机构联动，达到整体生产过程中的一体化，提高了生产效率。