专利详情

专利名称	多通道电流体喷射扫描系统
申请号	CN201610808461.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106423696A	公开（授权）日	2017.02.22
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	高平奇;叶继春;杨熹;何坚;周素琼
主分类号	B05B17/04(2006.01)I	IPC主分类号	B05B17/04(2006.01)I;B05B15/06(2006.01)I
专利有效期	多通道电流体喷射扫描系统至多通道电流体喷射扫描系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种多通道电流体喷射扫描系统，包括机台扫描移动装置和喷枪固定与切换系统。机台可以在x和y方向移动，机台和喷枪间距可以手动调节。该喷枪固定与切换系统包括旋转支架、喷嘴支架以及微注射头，旋转支架安装于固定装置上，喷嘴支架安装于旋转支架上，微注射头与喷嘴支架连接。其中，在旋转支架的外周安装多个喷嘴支架或在喷嘴支架上安装多个微注射头，从而实现在同一位置喷射不同液体。本发明的多通道电流体喷射扫描系统采用多通道电流体喷射扫描技术，制样速率和样品容量均比传统压电控制喷射仪器高1?2个数量级，最小特征样品尺寸可低至亚微米，实现真正意义上微纳米器件级别的“组合芯片”。