专利详情

专利名称	光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机
申请号	CN201610929894.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106338805A	公开（授权）日	2017.01.18
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	张德福;李显凌;倪明阳;隋永新;杨怀江
主分类号	G02B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/00(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I;G03B21/14(2006.01)I
专利有效期	光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机至光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种光学元件六自由度微位移调节装置，包括镜筒，三个调节支链安装于镜筒的上表面，每个调节支链提供两个自由度的位移调节；支撑镜框安装于三个调节支链的上表面，在每个调节支链的驱动下，支撑镜框可在两个自由度产生位移；光学元件固定于支撑镜框内，在三个调节支链的驱动下，实现光学元件的六自由度位移调节，适用于对六个自由度都很敏感的光学元件调节，有效提高了光学元件位移调节精度。