专利详情

专利名称	一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置及方法
申请号	CN201510962486.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106338258A	公开（授权）日	2017.01.18
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	于杰;张海涛;马冬梅;金春水
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I
专利有效期	一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置及方法至一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置，包括第一激光器、激光扩束镜、第一分光棱镜、二分之一波片、第二分光棱镜、四分之一波片、聚焦镜、针孔板、三维调整机构、第二激光器、第二激光功率计、第一激光功率计、成像用后组镜头、CMOS相机以及计算机。本发明还提供一种用于点衍射干涉仪针孔对准的方法，包括快速粗对准和精密对准，粗对准过程直观便捷快速，精密对准过程只需两轮扫描就能实现0.1μm的精密对准，耗时短精度高。