专利详情

专利名称	一种通过界面调控法制备溶剂化纳米晶热电薄膜的方法
申请号	CN201610839195.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106328801A	公开（授权）日	2017.01.11
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	唐智勇;丁德芳
主分类号	H01L35/34(2006.01)I	IPC主分类号	H01L35/34(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I
专利有效期	一种通过界面调控法制备溶剂化纳米晶热电薄膜的方法至一种通过界面调控法制备溶剂化纳米晶热电薄膜的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种通过界面调控法制备溶剂化纳米晶热电薄膜的方法，所述方法包括以下步骤：(1)将溶剂化纳米晶溶液旋涂于基片上，制备纳米晶薄膜；(2)将制得的纳米晶薄膜浸泡于短链配体溶液中，剥除纳米晶薄膜表面的原始有机配体；(3)将剥除原始有机配体的纳米晶薄膜进行退火处理，得到溶剂化纳米晶热电薄膜。本发明提供的界面调控法制备的溶剂化纳米晶薄膜具有良好的热电性能，该技术与目前微电子领域的半导体器件制备方法兼容，而且可操作性高，成本低，适用性广泛，为将来微电子领域的热电薄膜器件的大规模生产制备引导了方向。