专利详情

专利名称	调节光学元件边缘区域压强分布的抛光组件
申请号	CN201610836440.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106312797A	公开（授权）日	2017.01.11
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	吴丽翔;魏朝阳;邵建达;刘振通
主分类号	B24B39/00(2006.01)I	IPC主分类号	B24B39/00(2006.01)I;B24B13/00(2006.01)I;B24B55/00(2006.01)I
专利有效期	调节光学元件边缘区域压强分布的抛光组件至调节光学元件边缘区域压强分布的抛光组件	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种调节光学元件边缘区域压强分布的抛光组件，包括：行星双转子气压传动装置、关节式辅助施压机构和抛光盘，其特点在于所述的抛光盘的背面刻有同心圆沟槽，所述的关节式辅助施压机构由固定基座、活动关节和测力计组成。在光学元件边缘区域抛光过程中，通过该抛光组件对光学元件边缘区域压强分布进行调节，从而改变边缘区域材料去除量分布、达到抑制边缘效应的效果；另外，借助关节式辅助施压机构可有效减小振动幅度，从而提高抛光过程的可确定性。