
一种遮光罩装置
- 申请号:CN201610795882.4
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 公开(公开)号:CN106292129A
- 公开(公开)日:2017.01.04
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种遮光罩装置 | ||
申请号 | CN201610795882.4 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN106292129A | 公开(授权)日 | 2017.01.04 |
申请(专利权)人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明(设计)人 | 张新;曲贺盟 |
主分类号 | G03B11/04(2006.01)I | IPC主分类号 | G03B11/04(2006.01)I |
专利有效期 | 一种遮光罩装置 至一种遮光罩装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明公开了一种遮光罩装置。该遮光罩装置包括:主镜筒组件、次镜筒组件、折转镜筒组件和后组遮光镜筒组件。所述主镜筒组件包括主镜筒和容置在所述镜筒内的反射主镜;所述次镜组件包括次镜支架,反射次镜,次镜遮光罩,所述次镜遮光罩罩设在所述反射次镜外面,并与所述次镜支架连接,所述次镜支架与所述主镜筒连接;所述折转镜筒组件包括平面反射折转镜,罩设在平面反射折转镜外的折转镜遮光罩,所述折转镜遮光罩下部设有折转镜遮光罩通光孔,所述折转镜遮光罩通光孔朝向所述后组遮光镜筒组件;所述后组遮光镜筒组件包括后组遮光镜筒以及透镜。 |
交易流程
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