专利详情

专利名称	一种微孔金属填充结构及填充方法
申请号	CN201510323889.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106298639A	公开（授权）日	2017.01.04
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所;湖州中微科技有限公司	发明（设计）人	顾杰斌;刘冰杰;李昕欣
主分类号	H01L21/768(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/768(2006.01)I
专利有效期	一种微孔金属填充结构及填充方法至一种微孔金属填充结构及填充方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种微孔金属填充结构及填充方法，所述方法包括：提供一液态金属槽并在其上水平放置由喷嘴片、填充片及盖片叠加而成的三明治结构；其中，喷嘴片下表面紧贴液态金属的上表面，喷嘴片与填充片之间设有第一间隙，填充片与盖片之间设有第二间隙；所述填充片中具有填充微孔，所述喷嘴片中设有与所述填充微孔垂直对应的喷嘴孔结构；通过调整所述三明治结构的内部气压P₁及所述液态金属的表面气压P₂，实现所述填充微孔的金属填充及切割。本发明填充速度极快，准确度高、切割效果好，并可同时实现不同孔径微孔的填充。本发明不仅可以实现通孔的填充，还可以实现盲孔的填充；同时，填充微孔与待填充的液态金属可以浸润，也可以不浸润。