专利详情

专利名称	一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置
申请号	CN201510276304.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106289094A	公开（授权）日	2017.01.04
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	刘虹遥;路鑫超;陈鲁
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置至一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种利用表面等离激元散射频谱检测纳米颗粒形貌的方法和装置。所述方法包括：在金薄膜上附着所述纳米颗粒；在所述金薄膜表面激发表面等离激元，所述表面等离激元沿金薄膜表面传播，与所述纳米颗粒发生散射；所述表面等离激元散射转化为光信号与反射光一起被位于傅里叶平面的第一光电探测器接收，获得空间频域；根据所述空间频域的能量分布，获得所述纳米颗粒的形貌，解决了现有技术中的检测方法对样品要求严格，扫描时间长，无法快速获得检测结果，需要真空操作，成本高、体积大的技术问题。