专利详情

专利名称	一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置及系统
申请号	CN201610765497.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106226324A	公开（授权）日	2016.12.14
申请（专利权）人	中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心	发明（设计）人	陈鲁;马砚忠;刘虹遥;张朝前;杨乐;路鑫超
主分类号	G01N21/94(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/94(2006.01)I
专利有效期	一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置及系统至一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置及系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置，包括：信号采集单元，采集晶圆检测模拟信号，以及将晶圆检测模拟信号转换为数字信号；数据抽取单元，按照时序将数字信号中的数据存入缓冲区；处理单元，取用缓冲区的数据，以及对缓冲区的数据进行时域处理及频域处理；判断单元，查找时域信号及频域信号，将时域信号及频域信号合并判断后上传至上位机。本发明实施例提供的晶圆检测信号提取装置及系统，提高了晶圆检测装置检测的模拟信号的提取效率，对提取的晶圆信号中的数据处理更为稳定、准确。