专利详情

专利名称	插板阀控制真空度系统及其控制方法
申请号	CN201610556740.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106195391A	公开（授权）日	2016.12.07
申请（专利权）人	成都中科唯实仪器有限责任公司	发明（设计）人	蒋冰霜;马宁;王小军;何吉刚;魏琼林;雷梁;冉从军
主分类号	F16K31/04(2006.01)I	IPC主分类号	F16K31/04(2006.01)I;G05B19/05(2006.01)I
专利有效期	插板阀控制真空度系统及其控制方法至插板阀控制真空度系统及其控制方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种插板阀控制真空度系统及其控制方法，包括真空腔室、PLC、真空规管和计算机，真空腔室的进气口和出气口分别设置有流量计和真空抽气机组，真空抽气机组与真空腔室之间的管路中设置有采用步进电机驱动的电动插板阀，真空规管与真空腔室内部连通，真空规管的检测信号输出端与PLC的真空度检测信号输入端连接，PLC与计算机通信连接，PLC的控制信号输出端与电动插板阀的电机控制信号输入端连接，通过真空规管循环检测真空腔室内的真空度，如果实际真空度与设定真空度差值不等于0，则采用电动插板阀控制出气量，如果实际真空度与设定真空度差值等于0，则说明真空度已经调节到了预设值。本发明控制精度高，可节约气体和减少废气排放。