专利详情

专利名称	电子束加热蒸发源控制器
申请号	CN201510220859.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106191789A	公开（授权）日	2016.12.07
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	刘利;郇庆;竺晓山
主分类号	C23C14/30(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/30(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I
专利有效期	电子束加热蒸发源控制器至电子束加热蒸发源控制器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种电子束加热蒸发源控制器，包括信号设定装置、负反馈控制器、第一信号选择器、数据转换器、电压源和乘法器，信号设定装置用于输出电压设定数字信号和功率设定数字信号，第一信号选择器用于可选择地使得电压设定数字信号或负反馈控制器输出的控制量传输至数据转换器，数据转换器用于将接收的电压设定数字信号或负反馈控制器输出的控制量转换为对应的设定电压，电压源用于根据设定电压输出相对应的输出电压，乘法器用于输出与电压源的输出功率对应的功率数字信号，负反馈控制器用于根据作为其参考输入量的功率设定数字信号和作为其被控制量的功率数字信号输出所述控制量。本发明的电子束加热蒸发源实现了恒功率模式。