专利详情

专利名称	镱铝磷氟掺杂的石英光纤预制棒芯棒及其制备方法
申请号	CN201610489887.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106116136A	公开（授权）日	2016.11.16
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	楼风光;于春雷;胡丽丽;王孟;许晓青;张磊;冯素雅;陈丹平
主分类号	C03B37/018(2006.01)I	IPC主分类号	C03B37/018(2006.01)I;C03C3/06(2006.01)I
专利有效期	镱铝磷氟掺杂的石英光纤预制棒芯棒及其制备方法至镱铝磷氟掺杂的石英光纤预制棒芯棒及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种镱铝磷氟掺杂石英光纤预制棒芯棒的制备方法，该方法基于改进的化学气相沉积(MCVD)工艺并结合溶液浸泡工艺实现。首先基于化学沉积工艺在石英管内沉积得到一定厚度的含氟二氧化硅纳米颗粒疏松层，然后置于一定浓度氯化镱及氯化铝的溶液中实现镱铝的均匀共掺杂，经过干燥、脱羟基后，在上述掺杂石英管内部利用高纯氧气载入三氯氧磷原料，经过高温玻璃化及扩散过程，制备得到镱铝磷氟共掺杂石英光纤预制棒芯棒。该方法可以实现折射率高于纯石英差在0.0004?0.0008范围可调、轴向折射率一致性好、径向折射率呈锯齿形分布的大直径掺镱芯棒制备。