专利详情

专利名称	精密气体控制装置及光学制造系统
申请号	CN201610479001.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106123163A	公开（授权）日	2016.11.16
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	崔洋;于淼;彭吉;李佩玥;隋永新;杨怀江
主分类号	F24F3/16(2006.01)I	IPC主分类号	F24F3/16(2006.01)I;F24F13/30(2006.01)I;F24F13/28(2006.01)I;F24F11/02(2006.01)I
专利有效期	精密气体控制装置及光学制造系统至精密气体控制装置及光学制造系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种精密气体控制装置及光学制造系统。该精密气体控制装置包括初级过滤器、蒸发器、冷凝器以及混合室，其中：初效过滤器用于将外部环境的空气进行初级过滤，并将经过初级过滤的气体分别输送到蒸发器和冷凝器；蒸发器用于对经过初级过滤得到的气体进行降温，以得到冷气；冷凝器用于对经过初级过滤得到的气体进行加热，以得到热气；混合室用于按照预设的比例混合冷气和热气。通过上述方式，本发明采用冷、热风混合的方式，能够节省外部冷水机，从而达到节能环保的效果。