专利详情

专利名称	一种纳米织构化CrN/WS₂固体润滑薄膜的制备方法
申请号	CN201610815941.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106119776A	公开（授权）日	2016.11.16
申请（专利权）人	中国科学院兰州化学物理研究所	发明（设计）人	王德生;胡明;翁立军;孙嘉奕;高晓明;姜栋;伏彦龙;杨军;王琴琴
主分类号	C23C14/06(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I
专利有效期	一种纳米织构化CrN/WS₂固体润滑薄膜的制备方法至一种纳米织构化CrN/WS₂固体润滑薄膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种纳米织构化CrN/WS₂固体润滑薄膜的制备方法，具体步骤为：1)采用超声清洗法清洗基片；2)用氩离子溅射清洗基片；3)采用中频磁控溅射技术沉积表面具有纳米锥状阵列结构的CrN层；4)通过射频磁控溅射技术沉积WS₂润滑薄膜层。本发明所述薄膜结构致密，与基底材料的结合牢固，纳米锥状阵列结构的CrN提供良好的支撑和保存WS₂润滑膜的作用，整体薄膜呈现出明显改善的摩擦学性能，具有良好的应用前景。

交易流程

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4、专员跟进，交易保障

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