专利详情

专利名称	多分散大粒径硅溶胶及其制备方法
申请号	CN201610382474.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106044786A	公开（授权）日	2016.10.26
申请（专利权）人	上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	孔慧;刘卫丽;宋志棠
主分类号	C01B33/14(2006.01)I	IPC主分类号	C01B33/14(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	多分散大粒径硅溶胶及其制备方法至多分散大粒径硅溶胶及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种多分散大粒径硅溶胶及其制备方法，其主要作为抛光液使用提高抛光速度，所述制备方法是采用以下方法制备的：以粒径为20nm?30nm的单分散球形硅溶胶为晶种，搅拌并加热，同时向反应体系不断的滴加粒径为20nm?30nm的单分散球形硅溶胶晶种和活性硅酸，在整体反应过程中采用加热浓缩法维持恒液位，期间，滴加无机碱稀溶液以保持体系的pH值在9.5~10.5，保温后冷却。采用本发明制备的硅溶胶能够有效的提高抛光速度，同时减少划痕产生。