专利详情

专利名称	一种柔性热敏薄膜的制备方法
申请号	CN201610405728.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106011747A	公开（授权）日	2016.10.12
申请（专利权）人	中国科学院新疆理化技术研究所	发明（设计）人	孔雯雯;常爱民;高博;姚金城
主分类号	C23C14/08(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/08(2006.01)I;C23C14/28(2006.01)I
专利有效期	一种柔性热敏薄膜的制备方法至一种柔性热敏薄膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种柔性热敏薄膜的制备方法，该方法涉及的高真空镀膜装置是由靶材、衬底、衬底盘、真空腔体、靶托和激光器组成。采用室温固相法，制备颗粒小且粒径分布均匀的纳米级陶瓷氧化物粉体；将粉体进行压片、烧结处理，获得高致密度的陶瓷靶材；采用高真空镀膜技术在聚酰亚胺衬底表面沉积锰钴镍基氧化物薄膜；对沉积所得薄膜进行后退火处理。以实现高质量、电学性能稳定的柔性热敏薄膜的批量化、产业化生产。本发明实现了室温条件下制备柔性热敏薄膜。该方法操作简单，容易实现，成本低廉，适用于各种陶瓷薄膜的制备，且具有可靠性好、成品率高、平整度高、厚度精确可控、内部均匀等优势，因此非常适合批量化生产，具有很大的应用前景。