专利详情

专利名称	一种光谱检测元素分布的微区扫描装置及其微区扫描方法
申请号	CN201610272808.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105973871A	公开（授权）日	2016.09.28
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	王琦;陈慧茹;吴跃进;刘晶;刘斌美;林晏清;范爽
主分类号	G01N21/71(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/71(2006.01)I
专利有效期	一种光谱检测元素分布的微区扫描装置及其微区扫描方法至一种光谱检测元素分布的微区扫描装置及其微区扫描方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种光谱检测元素分布的微区扫描装置及其微区扫描方法。微区扫描装置包括激光器、微波发生器、脉冲延时发生器、准直系统、光束转折器、微处理器、光谱仪、光学聚焦系统、光谱收集器、成像系统、光分束器、三维移动平台、电机控制器。微波发生器发出微波脉冲并控制微波脉冲，激发激光光束与样品因相互作用产生的等离子体。样品放置于三维移动平台上，光分束器位于光束转折器的光直线出口光路上，成像系统与光谱收集器分别位于光分束器的两路光分路上。成像系统与脉冲延时发生器、微处理器分别电性连接，并对样品进行成像。微处理器电性连接电机控制器，电机控制器驱动三维移动平台。本发明还提供所述微区扫描装置的微区扫描方法。