专利详情

专利名称	一种用于等离子体参数诊断的探针装置
申请号	CN201820821638.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208399308U	公开（授权）日	2019.01.18
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	余鹏程;刘宇;曹金祥;徐亮;张仲凯;张逍
主分类号	G01N9/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01N9/24(2006.01)I
专利有效期	一种用于等离子体参数诊断的探针装置至一种用于等离子体参数诊断的探针装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种用于等离子体参数诊断的探针装置，安装于探针载体上，其该探针装置包括壳体和设置在所述壳体内的两个静电探针，并且在安装于所述探针载体上之后，所述静电探针的探测端与所述探针载体的外表面平齐。该探针装置很好解决了高温等离子体中外露的静电探针由于热沉积而导致的探针表面绝缘，以至于无法准确的诊断等离子体参数信息的问题，双电极结构也充分利用了静电双探针的优势，使得该探针装置可以在无辅助电极的特殊区域内使用，并且流进静电探针的电子流很小，对等离子体环境几乎无干扰，提高了等离子体参数探测的准确性。