专利详情

专利名称	一种激光辅助加热生长晶体的装置
申请号	CN201820772839.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208395312U	公开（授权）日	2019.01.18
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	线全刚;金浩;张重远
主分类号	C30B13/22(2006.01)I	IPC主分类号	C30B13/22(2006.01)I
专利有效期	一种激光辅助加热生长晶体的装置至一种激光辅助加热生长晶体的装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供了一种激光辅助加热生长晶体的装置，包括激光心部加热装置、氙灯表面加热装置、底座和真空腔体，其中：激光心部加热装置：激光聚焦镜头安装于镜头支架上，并通过光纤与激光器相连，上支撑杆固定于镜头支架下，上支撑杆与激光聚焦镜头之间设有透镜；送料棒悬挂于上支撑杆下端；籽晶棒位于送料棒的下方，并固定在下支撑杆上，送料棒与籽晶棒之间形成悬浮熔区；氙灯表面加热装置：氙灯固定装置位于镜头支架和底座之间，氙灯设置在椭球反光镜凹面一侧；真空腔体：上真空腔体、石英管和下真空腔体之间形成一个真空腔体。本实用新型通过结构和功能设计解决了大尺寸试棒晶体的生长难题，使其可生长直径达30mm的晶体，以利于实现工程化应用。