专利详情

专利名称	一种公自转轮式研抛磨头
申请号	CN201710338920.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN107116418A	公开（授权）日	2017.09.01
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	万勇建;陈祥;刘海涛;黄智;赵文川
主分类号	B24B13/01(2006.01)I	IPC主分类号	B24B13/01(2006.01)I
专利有效期	一种公自转轮式研抛磨头至一种公自转轮式研抛磨头	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种公自转轮式研抛磨头，包括公自转机构和电动控制机构。所述公自转机构中公转轴线与自转轴线相互垂直，正交于研抛轮中心；所述研抛轮自转轴上安装有齿轮；所述齿轮在围绕公转轴线公转的同时还为研抛轮提供自转动力。所述电动控制机构包括直线音圈电机、三脚传力架、齿盘，所述直线音圈电机用于动态调控研抛中的研抛压力。本发明采用正交运动的结构方式，具有动转动平衡、去除效率高的优点；同时采取高精度、高响应频率的直线音圈电机作为研抛力控制执行器，输出准确的研抛压力。在研抛的时候通过自转、公转的配合以及压力的动态调控，实现高效、高精度的去除效果。