专利详情

专利名称	可调谐滤波器以及可调谐滤波器阵列
申请号	CN201611249408.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN106672893A	公开（授权）日	2017.05.17
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院;广西师范学院	发明（设计）人	蒙庆华;陈四海;魏广路;李元元;陈巍
主分类号	B81B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	B81B7/02(2006.01)I;G01J3/28(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I
专利有效期	可调谐滤波器以及可调谐滤波器阵列至可调谐滤波器以及可调谐滤波器阵列	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种可调谐滤波器，其包括：半导体衬底；第一反射平面，形成在半导体衬底上；底部电极，包括相互电性绝缘的第一电极和第二电极，形成在第一反射平面上；支撑元件，设置在所述第二电极上，用于支撑金属桥面并将金属桥面电性连接到所述第二电极；金属桥面，由所述支撑元件支撑并且与所述底部电极相对设置，所述金属桥面为关于其中心点呈旋转对称的具有迷宫状的悬梁框架结构；第二反射平面，设置在金属桥面中并且从朝向第一反射平面的一侧暴露出。本发明还公开了一种可调谐滤波器阵列，其包括：具有读出电路的基底；阵列设置在所述基底上多个可调谐滤波器，其中，所述可调谐滤波器为如前所述的可调谐滤波器。