专利详情

专利名称	金属网沉积金刚石涂层装置和金属网沉积金刚石涂层系统
申请号	CN201820338175.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208346252U	公开（授权）日	2019.01.08
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	唐永炳;李星星;王陶;黄磊;杨扬
主分类号	C23C16/27(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/27(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I
专利有效期	金属网沉积金刚石涂层装置和金属网沉积金刚石涂层系统至金属网沉积金刚石涂层装置和金属网沉积金刚石涂层系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种金属网沉积金刚石涂层装置和金属网沉积金刚石涂层系统，涉及油水分离金刚石涂层金属网技术领域。金属网沉积金刚石涂层装置包括夹具本体；夹具本体包括平行设置的第一本体和第二本体，第一本体和第二本体的本体内部均独立地具有空洞，金属网置于第一本体与第二本体之间，且金属网边缘尺寸大于第一本体和第二本体的空洞尺寸，第一本体与第二本体通过垂直于第一本体的可拆卸夹紧机构固定，以夹紧金属网。本实用新型缓解了化学气相沉积沉积温度较高，由于金属网较薄，在沉积过程中容易变形，造成沉积和薄膜生长不均匀的缺陷，通过本实用新型可以将金属网固定住，沉积过程金属网不会变形，使金属网上生长的金刚石薄膜更加均匀。