专利详情

专利名称	热丝固定装置及金刚石薄膜生长设备
申请号	CN201820365870.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208328100U	公开（授权）日	2019.01.04
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	唐永炳;陈波;王陶;杨扬;张松全
主分类号	C23C16/27(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/27(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I
专利有效期	热丝固定装置及金刚石薄膜生长设备至热丝固定装置及金刚石薄膜生长设备	法律状态
说明书摘要	本实用新型是一种热丝固定装置及金刚石薄膜生长设备，涉及金刚石薄膜制备技术领域，为解决现有热丝气相沉积法制备金刚石薄膜的过程中，无法对温度场进行有效控制，从而无法获得品质良好的金刚石薄膜的问题而设计。该热丝固定装置包括至少一个用于固定热丝的丝架，至少一个丝架上安装有测温元件承载架，测温元件承载架用于安装测温元件，以对镀膜的环境温度进行测量，测温元件承载架滑动安装于丝架，安装于测温元件承载架的测温元件能够伸入镀膜区间。该金刚石薄膜生长设备包括上述热丝固定装置。本实用新型提供的热丝固定装置及金刚石薄膜生长设备用于在衬底上获得品质良好的金刚石薄膜。