专利详情

专利名称	高通量PECVD装置
申请号	CN201820744630.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208362461U	公开（授权）日	2019.01.11
申请（专利权）人	宁波英飞迈材料科技有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	项晓东;邬苏东;张欢;杨熹;盛江;叶继春
主分类号	C23C16/50(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/50(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I
专利有效期	高通量PECVD装置至高通量PECVD装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种高通量PECVD装置，包括：反应腔室；设置于反应腔室内的沉积台，沉积台的沉积表面分立有多个独立的沉积微区，每个所述沉积微区的温度独立可调；每个所述沉积微区分别对应有一等离子体激发单元，每个所述等离子体激发单元分别包括一反应气体导入通道。实用新型本实用新型通过一次实验可以实现几十个或上百个工艺条件的研究，大大加快试验效率，加快新材料和工艺的开发和筛选；大大提高衬底材料的利用率，减少成本；大大减少新材料和新工艺的开发时间和开发成本，加速新材料的开发进程和应用。