专利详情

专利名称	一种显微镜焦点偏移测量设备
申请号	CN201721428876.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208313565U	公开（授权）日	2019.01.01
申请（专利权）人	中国科学院苏州生物医学工程技术研究所	发明（设计）人	李辉;简俊明;文刚;金鑫;朱雨;赵星羽;朱茜
主分类号	G01M11/04(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/04(2006.01)I
专利有效期	一种显微镜焦点偏移测量设备至一种显微镜焦点偏移测量设备	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种显微镜焦点偏移测量设备。包括激光器，发射光束；空间滤波模块，由两块中心轴重合布置的透镜以及位于两块透镜之间的一针孔构成，对光束进行滤波处理；可调小孔，调整视场光阑；缩束模块，缩小光束的直径；分束镜，分成透射与反射两束光；图像传感器，获取光斑在图像传感器上的位移。光束由激光器发出，依次经过空间滤波模块、可调小孔、缩束模块、分束镜和显微镜的物镜，经物镜汇聚后经过盖玻片的上下表面的反射行成两条光束，两条光束依次经过物镜、分束镜的透射成像在图像传感器上。图像传感器采用线阵CCD。采用此实用新型排除盖玻片下表面反射光斑的干扰，提高光斑定位的精度，提高设备稳定性和响应速度。