专利详情

专利名称	一种带防液滴喷溅格栅的热蒸发装置
申请号	CN201721736330.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208136329U	公开（授权）日	2018.11.23
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	张撷秋;刘壮;杨世航;钟国华;黄俏俏;崔骏;李霖
主分类号	C23C14/56(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/56(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I
专利有效期	一种带防液滴喷溅格栅的热蒸发装置至一种带防液滴喷溅格栅的热蒸发装置	法律状态
说明书摘要	一种带防液滴喷溅格栅的热蒸发装置，包括：蒸发材料；坩埚，所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料；喷管，所述喷管与坩埚的顶端端口相通；格栅，所述格栅放置在坩埚内壁，且位于蒸发材料上方，所述格栅具有阻挡喷溅液滴直线运动至喷管的倾斜挡板。所述格栅还包括支撑框架，所述支撑框架的外壁与所述坩埚内壁紧密贴合，且形状相同。在热蒸发镀膜工艺中，格栅可顺利通过蒸气，且阻挡大部分喷溅液滴，有效减少喷溅液滴到达镀膜表面，提高镀膜材料的厚度均匀性和化学组分一致性，提高镀膜工艺的良品率。