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一种MEMS电容式加速度计接口电路

  • 申请号:CN201820462537.3
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院声学研究所
  • 公开(公开)号:CN208174658U
  • 公开(公开)日:2018.11.30
  • 法律状态:
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专利详情

专利名称 一种MEMS电容式加速度计接口电路
申请号 CN201820462537.3 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN208174658U 公开(授权)日 2018.11.30
申请(专利权)人 中国科学院声学研究所 发明(设计)人 齐敏;孙泉;乔东海
主分类号 H03K19/0175(2006.01)I IPC主分类号 H03K19/0175(2006.01)I
专利有效期 一种MEMS电容式加速度计接口电路 至一种MEMS电容式加速度计接口电路 法律状态
说明书摘要 本实用新型涉及一种MEMS电容式加速度计接口电路,包括敏感单元和读出装置;读出装置包括:开关、前置放大器和正参考电压以及共模电压产生电路;正参考电压以及共模电压产生电路包括升压电荷泵以及第一低噪声线性稳压器和第二低噪声线性稳压器;其中,第一低噪声线性稳压器和升压电荷泵构成正参考电压产生电路,第二低噪声线性稳压器和升压电荷泵构成共模电压产生电路;其中,正参考电压产生电路用于产生一个相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压,并转化为相当于低输入电源电压两倍的正参考电压;共模电压产生电路用于产生一个相对于低输入电源电压两倍或者更高的高压,并转化为相当于低输入电源电压一半的共模电压。

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