专利详情

专利名称	一种光学表面间距非接触式测量装置
申请号	CN201820699941.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN208155267U	公开（授权）日	2018.11.27
申请（专利权）人	中国科学院苏州生物医学工程技术研究所	发明（设计）人	史国华;潘道伟;邢利娜;樊金宇;汪权;刘敬璇
主分类号	G01B11/14(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/14(2006.01)I
专利有效期	一种光学表面间距非接触式测量装置至一种光学表面间距非接触式测量装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型属于光学测量技术领域，具体涉及一种光学表面间距非接触式测量装置，本实用新型通过扫频光学相干层析(SSOCT)原理进行光学间隔非接触式测量，单次测量深度可达数十毫米，对于大部分的光学系统可以一次探测完成多个光学表面同时测量，配合参考臂移动进行分段式测量实现大量程，且测量精度完全取决于系统轴向分辨率；本实用新型还进一步优化了测量光路，在可调焦测量臂增加调焦模组，根据样品参数选择合适的聚焦光路，可以更好的收集各光学表面的反射光信号，提高干涉信号强度；在可位移参考臂中增加消色差透镜，可调焦测量臂的调焦模组和可位移参考臂的透镜组都是消色差透镜，有利于进一步提高测量精度。